3D激光扫描显微镜
技术参数 |
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X-Y载物台行程 |
70×70 mm |
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Z载物台行程 |
28 mm |
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最大负荷 |
5 kg |
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旋转载物台旋转角度 |
360 度 |
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目镜放大倍数 |
20 × |
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物镜放大倍数 |
10x/20x/50x/150x |
超精密加工中心
技术参数 |
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主轴最高转速 |
10000 rpm |
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反馈精度 |
0.07 arc seconds |
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重复定位精度 |
±1.0 arc seconds |
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最小分辨率 |
0.034 nm |
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各坐标行程 X/Y/Z |
350 mm/300 mm/150 mm |